Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , , , |
| Format: | Книга |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|