Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Andere auteurs: | , , , |
| Formaat: | Книга |
| Taal: | Russian |
| Gepubliceerd in: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Online toegang: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
