Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Tác giả khác: | , , , |
| Định dạng: | Книга |
| Ngôn ngữ: | Russian |
| Được phát hành: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Truy cập trực tuyến: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
