Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | , , , |
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/126681 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|