Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, фи...
Zapisane w:
1. autor: | |
---|---|
Kolejni autorzy: | |
Format: | Книга |
Język: | Russian |
Wydane: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2020
|
Dostęp online: | https://e.lanbook.com/book/144919 https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg |
Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|