Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, фи...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2020
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/144919 https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Краткое описание: | Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, физические аспекты процессов испарения веществ в вакууме, даны указания к выполнению лабораторного практикума. Практикум предназначен для бакалавров физического факультета ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки: 210100 – «Электроника и наноэлектроника», 222900 – «Нанотехнологии и микросистемная техника». |
|---|---|
| Примечание: | Рекомендовано методической комиссией физического факультета для бакалавров, обучающихся по следующим направлениям подготовки: 210100 – «Электроника и наноэлектроника», 222900 – «Нанотехнологии и микросистемная техника» |
| Объем: | 30 с. |
| Аудитория: | Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Инженерно-технические науки |
| Библиография: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |