Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, фи...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Další autoři: | |
Médium: | Книга |
Jazyk: | Russian |
Vydáno: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2020
|
On-line přístup: | https://e.lanbook.com/book/144919 https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg |
Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|