Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, фи...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Книга |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2020
|
| Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/144919 https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|