Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, фи...
Guardado en:
Autor principal: | |
---|---|
Otros Autores: | |
Formato: | Книга |
Lenguaje: | Russian |
Publicado: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2020
|
Acceso en línea: | https://e.lanbook.com/book/144919 https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg |
Etiquetas: |
Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|