Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, фи...
Сохранить в:
主要作者: | |
---|---|
其他作者: | |
格式: | Книга |
语言: | Russian |
出版: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2020
|
在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/144919 https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg |
标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|