Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | Книга |
| اللغة: | Russian |
| منشور في: |
Новосибирск
НГТУ
2019
|
| الوصول للمادة أونلاين: | https://e.lanbook.com/book/152159 https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|