Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Wedi'i Gadw mewn:
| Prif Awdur: | |
|---|---|
| Fformat: | Книга |
| Iaith: | Russian |
| Cyhoeddwyd: |
Новосибирск
НГТУ
2019
|
| Mynediad Ar-lein: | https://e.lanbook.com/book/152159 https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg |
| Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|