Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Sprog: | Russian |
| Udgivet: |
Новосибирск
НГТУ
2019
|
| Online adgang: | https://e.lanbook.com/book/152159 https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|