Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Materialtyp: | Книга |
| Språk: | Russian |
| Publicerad: |
Новосибирск
НГТУ
2019
|
| Länkar: | https://e.lanbook.com/book/152159 https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|