Исследование рельефа поверхности полупроводниковой hemt-структуры методом атомно-силовой микроскопии практикум
В пособии описаны физические принципы работы атомно-силового сканирующего зондового микроскопа. Изложена методика анализа топографии поверхности полупроводниковой структуры с использованием контактного способа измерений. Практикум предназначен для студентов дневного отделения магистратуры радиофизич...
Сохранить в:
Главный автор: | |
---|---|
Другие авторы: | , |
Формат: | Книга |
Язык: | Russian |
Опубликовано: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2014
|
Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/152815 https://e.lanbook.com/img/cover/book/152815.jpg |
Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Краткое описание: | В пособии описаны физические принципы работы атомно-силового сканирующего зондового микроскопа. Изложена методика анализа топографии поверхности полупроводниковой структуры с использованием контактного способа измерений. Практикум предназначен для студентов дневного отделения магистратуры радиофизического факультета ННГУ в качестве пособия при подготовке и проведении лабораторных работ по специализированному курсу «Сканирующая зондовая микроскопия». |
---|---|
Примечание: | Рекомендовано методической комиссией радиофизического факультета для студентов ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки 011800 «Радиофизика и электроника» 010400 «Информационные технологии» 654700 «Информационная безопасность телекоммуникационных систем» |
Объем: | 17 с. |
Аудитория: | Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Физика |
Библиография: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |