Метод сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии кремния с газовым источником германия практикум
Целью данной работы является ознакомление с особенностями выращивания эпитаксиальных слоев кремния, кремний-германия методом молекулярно-лучевой эпитаксии с сублимационным источником кремния и газовым источником германия, а также знакомство с вакуумным технологическим оборудованием. Рассматривается...
সংরক্ষণ করুন:
| বিন্যাস: | Книга |
|---|---|
| ভাষা: | Russian |
| প্রকাশিত: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2015
|
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://e.lanbook.com/book/153137 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153137.jpg |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|
| সংক্ষিপ্ত: | Целью данной работы является ознакомление с особенностями выращивания эпитаксиальных слоев кремния, кремний-германия методом молекулярно-лучевой эпитаксии с сублимационным источником кремния и газовым источником германия, а также знакомство с вакуумным технологическим оборудованием. Рассматривается влияние основных условий роста и технологических параметров на качество эпитаксиальных слоев. Приводится сравнение данного метода с другими методами выращивания эпитаксиальных слоев кремния и германия (газофазная эпитаксия и молекулярно-лучевая эпитаксия с испарением электронным лучом). Практикум предназначен для магистров физического факультета ННГУ, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 03.04.02 «Физика». |
|---|---|
| উপাদানের বিবরণ: | Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 03.04.02 «Физика» |
| দৈহিক বর্ননা: | 13 с. |
| ব্যবহারকারী: | Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Инженерно-технические науки |
| গ্রন্থ-পঞ্জী: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |