Метод сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии кремния с газовым источником германия практикум
Целью данной работы является ознакомление с особенностями выращивания эпитаксиальных слоев кремния, кремний-германия методом молекулярно-лучевой эпитаксии с сублимационным источником кремния и газовым источником германия, а также знакомство с вакуумным технологическим оборудованием. Рассматривается...
Saved in:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Language: | Russian |
| Published: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2015
|
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/153137 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153137.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|