Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур электронное учебно-методическое пособие
В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установ...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2012
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/153454 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153454.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|