Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур электронное учебно-методическое пособие
В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установ...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Книга |
| Jazyk: | Russian |
| Vydáno: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2012
|
| On-line přístup: | https://e.lanbook.com/book/153454 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153454.jpg |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|