Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур электронное учебно-методическое пособие
В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установ...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2012
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/153454 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153454.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Краткое описание: | В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установках. Приведены схемы компоновки вакуумных систем и изложены принципы построения вакуумных систем. Изложены современные методы нанесения тонких пленок и основы теории механизма роста пленок напыляемого материала на подложке. Электронное учебно-методическое пособие предназначено для студентов ННГУ, обучающихся по направлению подготовки 011800.62 «Радиофизика», профиль «Электроника, микро- и наноэлектроника» и профиль «Квантовая радиофизика и квантовая электроника», проходящих курс Учебно-научного эксперимента, и по направлению подготовки 011800.68 «Радиофизика», магистерская программа «Физическая электроника», изучающих курсы «Физика сверхпроводников» и «Физика магнетизма». |
|---|---|
| Объем: | 60 с. |
| Аудитория: | Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Физика |
| Библиография: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |