Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур электронное учебно-методическое пособие
В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установ...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2012
|
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/153454 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153454.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|
| LEADER | 02941nam0a2200229 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 153454 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174104.0 | ||
| 008 | 221220s2012 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур |b электронное учебно-методическое пособие |c Вдовичев С. Н. |
| 260 | |a Нижний Новгород |b ННГУ им. Н. И. Лобачевского |c 2012 | ||
| 300 | |a 60 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установках. Приведены схемы компоновки вакуумных систем и изложены принципы построения вакуумных систем. Изложены современные методы нанесения тонких пленок и основы теории механизма роста пленок напыляемого материала на подложке. Электронное учебно-методическое пособие предназначено для студентов ННГУ, обучающихся по направлению подготовки 011800.62 «Радиофизика», профиль «Электроника, микро- и наноэлектроника» и профиль «Квантовая радиофизика и квантовая электроника», проходящих курс Учебно-научного эксперимента, и по направлению подготовки 011800.68 «Радиофизика», магистерская программа «Физическая электроника», изучающих курсы «Физика сверхпроводников» и «Физика магнетизма». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Физика | |
| 100 | 1 | |a Вдовичев С. Н. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/153454 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/153454.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/153454.jpg | ||