Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур электронное учебно-методическое пособие
В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установ...
Guardat en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicat: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2012
|
| Accés en línia: | https://e.lanbook.com/book/153454 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153454.jpg |
| Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|