Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии учебно-методическое пособие
Рассматриваются физические основы методов электронной ожеспектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | |
| Aineistotyyppi: | Книга |
| Kieli: | Russian |
| Julkaistu: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2011
|
| Linkit: | https://e.lanbook.com/book/153530 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153530.jpg |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|