Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии учебно-методическое пособие
Рассматриваются физические основы методов электронной ожеспектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Andre forfattere: | |
| Format: | Книга |
| Sprog: | Russian |
| Udgivet: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2011
|
| Online adgang: | https://e.lanbook.com/book/153530 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153530.jpg |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
| Summary: | Рассматриваются физические основы методов электронной ожеспектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа состава самоорганизованных кремний-германиевых систем и тонкопленочных структур разбавленных магнитных полупроводников. Для студентов старших курсов и магистратуры физического факультета, обучающихся по специальностям 210600 – "Нанотехнология в электронике" и 210100 – "Электроника и микроэлектроника", направление специализации — "Физика твердотельных наноструктур" |
|---|---|
| Emne beskrivelse: | Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов ННГУ, обучающимся по направлениям 210600 – "Нанотехнология в электронике" 210100 – "Электроника и микроэлектроника" |
| Fysisk beskrivelse: | 110 с. |
| Publikum: | Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Инженерно-технические науки |
| Bibliografi: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |