Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии учебно-методическое пособие
Рассматриваются физические основы методов электронной ожеспектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Outros autores: | |
| Formato: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicado: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2011
|
| Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/153530 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153530.jpg |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| LEADER | 02852nam0a2200277 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 153530 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174104.0 | ||
| 008 | 221220s2011 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 543.428.2:539.25 | ||
| 084 | |a В.344в7 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии |b учебно-методическое пособие |c Николичев Д. Е.,Боряков А. В. |
| 260 | |a Нижний Новгород |b ННГУ им. Н. И. Лобачевского |c 2011 | ||
| 300 | |a 110 с. | ||
| 500 | |a Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов ННГУ, обучающимся по направлениям 210600 – "Нанотехнология в электронике" 210100 – "Электроника и микроэлектроника" | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Рассматриваются физические основы методов электронной ожеспектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа состава самоорганизованных кремний-германиевых систем и тонкопленочных структур разбавленных магнитных полупроводников. Для студентов старших курсов и магистратуры физического факультета, обучающихся по специальностям 210600 – "Нанотехнология в электронике" и 210100 – "Электроника и микроэлектроника", направление специализации — "Физика твердотельных наноструктур" | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Николичев Д. Е. | |
| 700 | 1 | |a Боряков А. В. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/153530 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/153530.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/153530.jpg | ||