Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии учебно-методическое пособие
Рассматриваются физические основы методов электронной ожеспектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Médium: | Книга |
| Jazyk: | Russian |
| Vydáno: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2011
|
| On-line přístup: | https://e.lanbook.com/book/153530 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153530.jpg |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
