Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии учебно-методическое пособие
Рассматриваются физические основы методов электронной ожеспектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Övriga upphovsmän: | |
| Materialtyp: | Книга |
| Språk: | Russian |
| Publicerad: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2011
|
| Länkar: | https://e.lanbook.com/book/153530 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153530.jpg |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|