Градиентная эпитаксия для получения микро и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV . Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединени...
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Weitere Verfasser: | |
Format: | Книга |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Ставрополь
СКФУ
2015
|
Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/155169 https://e.lanbook.com/img/cover/book/155169.jpg |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|