Градиентная эпитаксия для получения микро и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV . Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединени...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Ставрополь
СКФУ
2015
|
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/155169 https://e.lanbook.com/img/cover/book/155169.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|