Градиентная эпитаксия для получения микро и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV . Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединени...
Enregistré dans:
Auteur principal: | |
---|---|
Autres auteurs: | |
Format: | Книга |
Langue: | Russian |
Publié: |
Ставрополь
СКФУ
2015
|
Accès en ligne: | https://e.lanbook.com/book/155169 https://e.lanbook.com/img/cover/book/155169.jpg |
Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|