Градиентная эпитаксия для получения микро и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV . Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединени...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | |
| Формат: | Книга |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Ставрополь
СКФУ
2015
|
| Онлайн доступ: | https://e.lanbook.com/book/155169 https://e.lanbook.com/img/cover/book/155169.jpg |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|