Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Lenguaje: | Russian |
| Publicado: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Edición: | 2-е изд., стер. |
| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Etiquetas: |
Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|