Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Редакция: | 2-е изд., стер. |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02517nam0a2200337 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 200492 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174143.0 | ||
| 008 | 221220s2022 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-8114-9566-5 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 32.85я73 | ||
| 084 | |a 54:621.38 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем |c Родионов Ю. А. |
| 250 | |a 2-е изд., стер. | ||
| 260 | |a Санкт-Петербург |b Лань |c 2022 | ||
| 300 | |a 220 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки | |
| 653 | 0 | |a Реактив | |
| 653 | 0 | |a фильтрация | |
| 653 | 0 | |a травление | |
| 653 | 0 | |a нанесение пленок | |
| 653 | 0 | |a деионизованная вода | |
| 100 | 1 | |a Родионов Ю. А. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/200492 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg | ||