Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Guardat en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicat: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Edició: | 2-е изд., стер. |
| Matèries: | |
| Accés en línia: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
