Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| 版: | 2-е изд., стер. |
| 主题: | |
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|