Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганич...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Новосибирск
НГТУ
2021
|
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/216209 https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|