Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенер...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Övriga upphovsmän: | |
| Materialtyp: | Книга |
| Språk: | Russian |
| Publicerad: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2021
|
| Länkar: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|