Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенер...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | |
|---|---|
| অন্যান্য লেখক: | |
| বিন্যাস: | Книга |
| ভাষা: | Russian |
| প্রকাশিত: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2021
|
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|
| LEADER | 02558nam0a2200265 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 220157 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174150.0 | ||
| 008 | 221220s2021 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-907324-46-6 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 628.5:539.23 | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Безопасность при работах по нанесению тонких пленок |c Патрушева Т. Н.,Петров С. К. |
| 260 | |a Санкт-Петербург |b БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова |c 2021 | ||
| 300 | |a 154 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенерации отработанных растворов в цехах химической и электрохимической металлизации и охраны труда при производстве этих работ, а также перспективные методы получения полимерных и оксидных пленок. Показана возможность получения функциональных материалов и устройств с использованием безопасных растворных методов. Для магистрантов, аспирантов, преподавателей, научных работников и специалистов в области техносферной безопасности, приборостроения, твердотельной электроники. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Патрушева Т. Н. | |
| 700 | 1 | |a Петров С. К. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/220157 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg | ||