Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенер...
Sábháilte in:
Príomhchruthaitheoir: | |
---|---|
Rannpháirtithe: | |
Formáid: | Книга |
Teanga: | Russian |
Foilsithe / Cruthaithe: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2021
|
Rochtain ar líne: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|