Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенер...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Andere auteurs: | |
| Formaat: | Книга |
| Taal: | Russian |
| Gepubliceerd in: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2021
|
| Online toegang: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|