Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенер...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Diğer Yazarlar: | |
| Materyal Türü: | Книга |
| Dil: | Russian |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2021
|
| Online Erişim: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|