Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенер...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | |
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2021
|
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|