Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | , |
| التنسيق: | Книга |
| اللغة: | Russian |
| منشور في: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| الوصول للمادة أونلاين: | https://e.lanbook.com/book/324848 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|