Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...
Αποθηκεύτηκε σε:
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | , |
| Μορφή: | Книга |
| Γλώσσα: | Russian |
| Έκδοση: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| Διαθέσιμο Online: | https://e.lanbook.com/book/324848 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg |
| Ετικέτες: |
Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
|