Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...
Gorde:
Egile nagusia: | |
---|---|
Beste egile batzuk: | , |
Formatua: | Книга |
Hizkuntza: | Russian |
Argitaratua: |
Москва
МИЭТ
2022
|
Sarrera elektronikoa: | https://e.lanbook.com/book/324848 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg |
Etiketak: |
Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|