Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | , |
| Aineistotyyppi: | Книга |
| Kieli: | Russian |
| Julkaistu: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| Linkit: | https://e.lanbook.com/book/324848 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|