Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| מחברים אחרים: | , |
| פורמט: | Книга |
| שפה: | Russian |
| יצא לאור: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| גישה מקוונת: | https://e.lanbook.com/book/324848 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|