Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| その他の著者: | , |
| フォーマット: | Книга |
| 言語: | Russian |
| 出版事項: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| オンライン･アクセス: | https://e.lanbook.com/book/324848 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|