Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
সংরক্ষণ করুন:
প্রধান লেখক: | |
---|---|
বিন্যাস: | Книга |
ভাষা: | Russian |
প্রকাশিত: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
সংস্করন: | 3-е изд., стер. |
বিষয়গুলি: | |
অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|