Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Wedi'i Gadw mewn:
| Prif Awdur: | |
|---|---|
| Fformat: | Книга |
| Iaith: | Russian |
| Cyhoeddwyd: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Rhifyn: | 3-е изд., стер. |
| Pynciau: | |
| Mynediad Ar-lein: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|