Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Gorde:
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Formatua: | Книга |
| Hizkuntza: | Russian |
| Argitaratua: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Edizioa: | 3-е изд., стер. |
| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Etiketak: |
Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|